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我們只討論激光器的光束質(zhì)量因子M2對(duì)激光粒度儀的影響。納米粒度儀利用光束質(zhì)量因子M2評(píng)價(jià)激光束的質(zhì)量具有重要特點(diǎn)： ① M2因子表示實(shí)際光束偏離基模高斯光束(衍射極限)的程度； ② M2因子綜合描述了光束的質(zhì)量，包括光束遠(yuǎn)場(chǎng)和近場(chǎng)特性； ③ 光束通過理想光學(xué)系統(tǒng)后M2因子不變。

Siegman引入了一個(gè)無量綱的量納米粒度儀，光束質(zhì)量因子參數(shù)，較科學(xué)合理地描述了激光光束質(zhì)量，并被國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織1991年的ISO/TC172/SC9/WG1標(biāo)準(zhǔn)草案采納，激光光束質(zhì)量因子的研究和測(cè)量也成為近幾年研究的熱點(diǎn)。光束質(zhì)量是衡量激光光束優(yōu)劣的一項(xiàng)重要指標(biāo)。但是，較長(zhǎng)時(shí)間以來，光束質(zhì)量一直沒有確切的定義，也未建立標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量方法，這給科研和應(yīng)用都帶來不便。常用來評(píng)價(jià)光束質(zhì)量的方法有：原衍射極限倍數(shù)因子、斯特列爾比、環(huán)圍能量比、M2因子或其倒數(shù)K因子(光束傳輸因子)，各種光束質(zhì)量的定義對(duì)應(yīng)于不同的應(yīng)用目的，所反映光束質(zhì)量的側(cè)重點(diǎn)也不同。激光光束質(zhì)量M2因子被國(guó)際光學(xué)界所公認(rèn)并由國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)予以推薦。M2因子克服了常用光束質(zhì)量評(píng)價(jià)方法的局限，用M2因子作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)激光器系統(tǒng)進(jìn)行質(zhì)量監(jiān)控及輔助設(shè)計(jì)等具有十分重要的意義。